প্লাজমা এচিং পাতলা ফিল্ম সরঞ্জাম

প্লাজমা এচিং পাতলা ফিল্ম সরঞ্জামপৃষ্ঠের পরিবর্তন এবং অবশিষ্টাংশ অপসারণে ব্যতিক্রমী পারফরম্যান্স সরবরাহ করে পাতলা-ফিল্ম আবরণগুলির যথার্থ স্ট্রিপিংয়ের জন্য ডিজাইন করা একটি কাটিয়া প্রান্তের সমাধান। রিঅ্যাকটিভ আয়ন এচিং (আরআইই) প্রযুক্তির লিভারাইজিং, এই সরঞ্জামগুলি ইউনিফর্ম এবং নিয়ন্ত্রিত ফিল্ম অপসারণ অর্জনের জন্য রাসায়নিক বিক্রিয়া এবং শারীরিক আয়ন বোমাবাজি একত্রিত করে।

• নিম্ন-তাপমাত্রা প্রক্রিয়াজাতকরণ: প্লাজমা এচিং পাতলা ফিল্ম সরঞ্জামগুলি অতি-নিম্ন তাপমাত্রায় কাজ করে, তাপীয় চাপকে হ্রাস করে এবং স্তরীয় বিকৃতি রোধ করে। এই বৈশিষ্ট্যটি পলিমার এবং যথার্থ অপটিক্সের মতো সূক্ষ্ম উপকরণগুলির জন্য গুরুত্বপূর্ণ।
• সামঞ্জস্যযোগ্য এচিং হার: আয়ন উত্স এবং সাবস্ট্রেটের মধ্যে দূরত্বটি উচ্চতা-সামঞ্জস্যযোগ্য ঘোরানো প্ল্যাটফর্মের মাধ্যমে গতিশীলভাবে সামঞ্জস্য করা যেতে পারে, বিভিন্ন প্রক্রিয়া প্রয়োজনীয়তা পূরণের জন্য এচিং গতির (30 এনএম/মিনিট পর্যন্ত) সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণ সক্ষম করে।
• উচ্চ অভিন্নতা: পেটেন্টেড আয়ন বিম উত্স এবং উন্নত স্রাব প্রযুক্তিতে সজ্জিত, সরঞ্জামগুলি উচ্চ ঘনত্বের প্লাজমা উত্পন্ন করে, 800 মিমি ব্যাস পর্যন্ত স্তরগুলি জুড়ে অভিন্ন এচিং এবং ধারাবাহিক ফলাফল নিশ্চিত করে।
• দ্বৈত-কার্যকারিতা: ফিল্ম অপসারণের বাইরেও, এই সিস্টেমটি বহুবিধ অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য কাস্টমাইজ করা যেতে পারে, পরবর্তী লেপ প্রক্রিয়াগুলির জন্য পৃষ্ঠ পরিষ্কার এবং প্রাক-চিকিত্সা সহ।

দ্যপ্লাজমা পরিষ্কারের মেশিনআয়নাইজড গ্যাস (প্লাজমা) দ্বারা চালিত শারীরিক বোমাবর্ষণ এবং রাসায়নিক বিক্রিয়াগুলির একটি পরিশীলিত ইন্টারপ্লে মাধ্যমে পরিচালিত হয়। এর মূল অংশে, সিস্টেমটি নিম্নচাপের গ্যাস পরিবেশে (যেমন, অক্সিজেন, আর্গন বা নাইট্রোজেন) রেডিওফ্রিকোয়েন্সি (আরএফ) শক্তি প্রয়োগ করে প্লাজমা তৈরি করে। এই শক্তি আয়ন, ইলেক্ট্রন এবং ফ্রি র‌্যাডিক্যালস সহ উচ্চ-শক্তি প্লাজমা মেঘ গঠন করে গ্যাসের অণুগুলিকে প্রতিক্রিয়াশীল প্রজাতিতে বিচ্ছিন্ন করে।

1, প্লাজমা জেনারেশন:
যখন আরএফ শক্তি (সাধারণত 13.56 মেগাহার্টজ বা 40 কেজিএইচজেড) ভ্যাকুয়াম চেম্বারের মধ্যে ইলেক্ট্রোডগুলিতে প্রয়োগ করা হয়, তখন গ্যাসের অণুগুলি আয়নায়নের মধ্য দিয়ে যায়। এটি একটি আভা স্রাব তৈরি করে, একটি স্থিতিশীল প্লাজমা রাষ্ট্র উত্পাদন করে। প্রক্রিয়া গ্যাসগুলির নির্বাচন প্রভাবশালী প্রতিক্রিয়া প্রক্রিয়া নির্ধারণ করে: অক্সিজেন প্লাজমা জৈব দূষককে অক্সিডাইজিংয়ে ছাড়িয়ে যায়, যখন আর্গন প্লাজমা অজৈব অবশিষ্টাংশের জন্য শারীরিক স্পটারিং বাড়ায়।

2, পরিষ্কারের ব্যবস্থা:

• শারীরিক বোমাবর্ষণ:প্লাজমাতে উচ্চ-শক্তি আয়নগুলি পৃষ্ঠের দূষকগুলির সাথে সংঘর্ষ হয়, গতিবেগ শক্তি স্থানান্তরের মাধ্যমে আণবিক বন্ধন এবং বিচ্ছিন্ন কণাগুলি ভেঙে দেয়। এই প্রক্রিয়াটি কার্যকরভাবে পার্টিকুলেট পদার্থকে সরিয়ে দেয় এবং দুর্বলভাবে স্তরগুলি মেনে চলে।
• রাসায়নিক বিক্রিয়া:রিঅ্যাকটিভ র‌্যাডিক্যালস (যেমন, ও, ওএইচ) জৈব দূষণকারীদের সাথে যোগাযোগ করে, ভ্যাকুয়াম সিস্টেমের মাধ্যমে সরিয়ে নেওয়া হয় এমন অস্থির উপজাতগুলি (সিও ₂, এইচওও) এ পচে যায়।
• সারফেস অ্যাক্টিভেশন:একই সাথে, প্লাজমা এক্সপোজারটি পোলার ফাংশনাল গ্রুপগুলি (-OH, -COOH) তৈরি করে পৃষ্ঠের রসায়নকে সংশোধন করে, পরবর্তী প্রক্রিয়াগুলির জন্য ওয়েটবিলিটি এবং আঠালোকে বাড়িয়ে তোলে।

প্রাক- এবং পোস্ট-এচিং তুলনা

• প্রাক -চিং: অবশিষ্ট কার্বন-ভিত্তিক ফিল্মগুলি (যেমন, ডিএলসি/টিএ-সি লেপ) বা দূষকগুলি পৃষ্ঠের আঠালো এবং অপটিক্যাল পারফরম্যান্সকে হ্রাস করতে পারে।
• পোস্ট-এচিং: একটি প্রাথমিক, দূষিত মুক্ত পৃষ্ঠ অর্জন করা হয়, পরবর্তী কোটিংয়ের জন্য আঠালো বৃদ্ধি এবং গ্রাহক ইলেকট্রনিক্স, অপটিক্স এবং পুনর্নবীকরণযোগ্য শক্তির মতো শিল্পগুলিতে পণ্যের নির্ভরযোগ্যতা উন্নত করে।

• এচিং গ্যাস: আর, ও
• বিদ্যুৎ সরবরাহ: 380V/50Hz, 10 কিলোওয়াট
• ভ্যাকুয়াম সিস্টেম: বেস চাপ সহ আণবিক পাম্প 5 এর চেয়ে কম বা সমান। 0 × 10⁻⁴ পিএ
• কাস্টমাইজেশন: চেম্বারের আকার এবং বাহ্যিক মাত্রাগুলি ক্লায়েন্টের প্রয়োজন অনুসারে তৈরি করা যেতে পারে।

• অপটিক্যাল লেন্স, ডিসপ্লে প্যানেল এবং যথার্থ সরঞ্জামগুলির জন্য পাতলা-ফিল্ম অপসারণ।
• 3 সি ইলেক্ট্রনিক্স, মেডিকেল ডিভাইস এবং নতুন শক্তি শিল্পে পৃষ্ঠের প্রাক-চিকিত্সা।