প্লাজমা বর্ধিত পাতলা ফিল্ম সরঞ্জাম

প্লাজমা বর্ধিত পাতলা ফিল্ম সরঞ্জাম হ'ল একটি খাঁটি আয়ন লেপ প্রযুক্তি (খাঁটি আয়ন বিম), উচ্চ-শক্তি আয়ন বিম পরিষ্কারের প্রযুক্তি (আয়নবিম), চৌম্বকীয় স্পটার প্রযুক্তি (স্পটার) এবং চৌম্বকীয় আবশ্যকীয় বাষ্প ডিপোজিশন (চৌম্বকীয় বন্দিদশা-সিভিডি) একটিতে চারটি প্রযুক্তি এবং সিভিডি প্রযুক্তির একটি নিখুঁত ফিউশন।

প্লাজমা বর্ধিত পাতলা ফিল্ম সরঞ্জাম বিভিন্ন জটিল পণ্যের প্রয়োজন মেটাতে আরও নমনীয় প্রক্রিয়া সংমিশ্রণ সরবরাহ করে এবং এর শক্তিশালী হাইব্রিড প্রক্রিয়া প্রক্রিয়া ডিজাইনারদের জন্য আরও সম্ভাবনা সরবরাহ করে।

প্লাজমা বর্ধিত পাতলা ফিল্ম সরঞ্জামগুলি সরঞ্জামের ফাংশনগুলির সংক্ষিপ্ত পরিচিতি:

(1) খাঁটি আয়ন আবরণ উত্স, দক্ষ বৈদ্যুতিন চৌম্বকীয় পরিস্রাবণ সিস্টেম ব্যবহার করে কার্যকরভাবে কণাগুলি অপসারণ করে, উচ্চতর বিশুদ্ধতা আয়ন মরীচি অর্জন করে, লেপ কঠোরতা এবং বাঁধাই শক্তি উন্নত করতে সহায়তা করে;

(২) উচ্চ শক্তি আয়ন বিম পরিষ্কারের উত্স, একটি বিশেষভাবে ডিজাইন করা স্রাব কাঠামো ব্যবহার করে, প্লাজমা পরিষ্কারের অ্যাক্টিভেশন, সহায়ক আয়নীকরণ, স্বতন্ত্র জমা এবং অন্যান্য ফাংশনগুলির সাথে কার্যকরভাবে সামঞ্জস্যপূর্ণ;

(3) ম্যাগনেট্রন স্পটারিং উত্স, উদ্ভাবনী চৌম্বকীয় ক্ষেত্র ডিজাইন ব্যবহার করে, 30%এরও বেশি লক্ষ্য ব্যবহারের হারকে কার্যকরভাবে উন্নত করে;

(৪) চৌম্বকীয়ভাবে সীমাবদ্ধ বাষ্প জমার উত্স, নির্ভরযোগ্য এবং কাঠামো বজায় রাখা সহজ, দ্রুত এবং সূক্ষ্ম লেপ জমা জবানবন্দি অর্জন করতে পারে।

সাধারণ লেপ প্রকার:

(1) এমই-ট্যাক, ধাতব টিএসি সংমিশ্রিত আবরণ, ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত

(২) এমই-ডিএলসি, ধাতব ডিএলসি যৌগিক লেপ, ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত

(3) এমই-টিএসি-ডিএলসি, টিএসি-ডিএলসি সংমিশ্রিত আবরণগুলি, টিএসি-র উচ্চতর বেসিক কঠোরতা এবং বাঁধাই শক্তি পাওয়ার সময়, ডিএলসির জবানবন্দি হার এবং সূক্ষ্ম উপস্থিতি রয়েছে।

এক্সপ্রেস প্লাজমা বর্ধিত পাতলা ফিল্ম সরঞ্জামগুলি টিএসি-ডিএলসির সংমিশ্রণটি উপলব্ধি করতে পারে, যা পিভিডির কণার আকার হ্রাস করে এবং প্রক্রিয়া সময়কে সংক্ষিপ্ত করে দেওয়ার সময় সাধারণ সিভিডির সাথে তুলনা করে বাইন্ডিং ফোর্সকে ব্যাপকভাবে উন্নত করে।

এক্সপ্রেস প্লাজমা বর্ধিত পাতলা ফিল্ম সরঞ্জাম বিভিন্ন প্রক্রিয়া সি ফিল্ম ডিপোজিশন, খাঁটি আয়ন প্লেটিং টিএসি, চৌম্বকীয় কারাগারে স্রাবের স্রাব ডিএলসি, আনোড লেয়ার আয়ন উত্স প্লেটিং ডিএলসি ইত্যাদি অর্জন করতে পারে etc.

এক্সপ্রেস প্লাজমা বর্ধিত পাতলা ফিল্ম সরঞ্জামগুলি একটি বৈদ্যুতিন চৌম্বকীয় স্ক্যানিং ডিভাইস এবং সফ্টওয়্যার দিয়ে সজ্জিত, যা একটি নির্দিষ্ট পয়েন্ট এবং সময়ে প্লাজমার মরীচি দিক নিয়ন্ত্রণ করতে পারে, লেপ লেপ ইউনিফর্মটির সমস্যাটিকে ব্যাপকভাবে উন্নত করে এবং পুরো চুল্লি ফিল্ম স্তরের অভিন্নতা ± 5%এর নীচে নিয়ন্ত্রণ করা হয়; এক্সপ্রেস অপ্টিমাইজড চৌম্বকীয় ক্ষেত্র ডিজাইন এবং কুলিং ডিজাইন, সহজ রক্ষণাবেক্ষণ, ভাল সরঞ্জামের স্থায়িত্ব;

এক্সপ্রেস ফ্রেন্ডলি ম্যান-মেশিন ইন্টারফেস, প্রক্রিয়া ডেটার রিয়েল-টাইম রেকর্ডিং, মান নিয়ন্ত্রণের পক্ষে উপযুক্ত, কঠিন বিশ্লেষণ, নতুন প্রক্রিয়াগুলির বিকাশ;

এক্সপ্রেস এই প্রকল্পটি একটি টার্নকি সরঞ্জাম, খাঁটি উত্স সংস্থা স্থিতিশীল পরিপক্ক লেপ সূত্র সহ একটি সম্পূর্ণ সমাধান সরবরাহ করে।