ভ্যাকুয়াম আর্ক থিন ফিল্ম সিস্টেম

ইন্ডাস্ট্রিয়াল ভ্যাকুয়াম আর্ক থিন ফিল্ম সিস্টেম ঘন, অত্যন্ত অনুগত ধাতব, খাদ এবং সিরামিক পাতলা ফিল্ম জমা করতে ক্যাথোডিক আর্ক বাষ্পীভবন ব্যবহার করে। একটি উচ্চ-বর্তমান, নিম্ন-ভোল্টেজ চাপ কঠিন ক্যাথোড পদার্থকে একটি উচ্চ আয়নিত প্লাজমা স্ট্রীমে (40% - 80% আয়নকরণ হার) বাষ্পীভূত করে, যা ব্যতিক্রমী ফিল্ম-থেকে-সাবস্ট্রেট বন্ধন শক্তি এবং উচ্চ জমার হার নিশ্চিত করে।

শিল্প উৎপাদন এবং উন্নত উপকরণ গবেষণার জন্য প্রকৌশলী, প্ল্যাটফর্মটি বহু-ক্যাথোড কনফিগারেশন, নির্ভুল প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস ব্যবস্থাপনা, এবং শিল্প আবরণ যেমন TiN, TiAlN, CrN, এবং DLC-এর জন্য স্বয়ংক্রিয় প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণকে একীভূত করে।

উচ্চ প্লাজমা আয়নকরণ:ক্যাথোডিক আর্ক আয়নাইজেশন (40% - 80%) ঘন ফিল্ম নিউক্লিয়েশন প্রচার করে, কলামার মাইক্রোস্ট্রাকচারের ত্রুটিগুলি দূর করে।

বর্ধিত আনুগত্য শক্তি:-সিটু উচ্চ-এনার্জি আয়ন পরিষ্কার করা টুল স্টিলের (ASTM C1624 যাচাইকৃত) উপর 40 N-এর বেশি ক্রিটিক্যাল স্ক্র্যাচ লোড (Lc) অর্জন করে।

টরয়েডাল ম্যাগনেটিক ফিল্টারেশন (ঐচ্ছিক):ম্যাক্রো-ফোঁটা ফাঁদে ফেলতে এবং নির্মূল করতে প্লাজমা ট্র্যাজেক্টোরিজ ডিফ্লেক্ট করে, ত্রুটি-মুক্ত মসৃণ ন্যানো-আবরণ তৈরি করে।

বন্ধ-লুপ প্রতিক্রিয়াশীল নিয়ন্ত্রণ:ভর প্রবাহ নিয়ন্ত্রক (MFCs) স্টোইচিওমেট্রিক যৌগ জমার জন্য N2, O2, C2H2 এবং Ar কে সুনির্দিষ্টভাবে নিয়ন্ত্রণ করে।

দ্রুত রক্ষণাবেক্ষণ:দ্রুত-রিলিজ ক্যাথোড সমাবেশ 30 মিনিটের মধ্যে লক্ষ্য প্রতিস্থাপনের অনুমতি দেয়।

রুক্ষ ও শিকড় পর্যায়:ডাইরেক্ট-ড্রাইভ রোটারি ভ্যান এবং মেকানিক্যাল বুস্টার পাম্প দ্রুত 10 Pa-এ নামানোর জন্য।

উচ্চ ভ্যাকুয়াম পর্যায়:তরল নাইট্রোজেন কোল্ড ট্র্যাপ বা চৌম্বকীয়ভাবে লেভিটেড টার্বোমলিকুলার পাম্প (1600 L/s) সহ তেল ডিফিউশন পাম্প <5 x 10^-4 Pa।

গেজ এবং ইন্টারলক:ডুয়াল পিরানি এবং কোল্ড ক্যাথোড আয়নাইজেশন গেজগুলি স্বয়ংক্রিয় বায়ুসংক্রান্ত গেট ভালভ এবং পিএলসি ইন্টারলকগুলির সাথে যুক্ত।

Cathode Targets (Purity >= 99.95%):
ধাতু:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Mo, W, Ag, Au

খাদ/যৌগ:TiAl, TiSi, CrAl, WC, গ্রাফাইট (C)

সাবস্ট্রেট উপকরণ:
টুল ইস্পাত:SKH51, M2, D2, কার্বাইড সন্নিবেশ

খাদ:304/316L স্টেইনলেস স্টিল, ইনকোনেল, Ti-6Al-4V

সিরামিক/গ্লাস:অ্যালুমিনা, কোয়ার্টজ (সারফেস অ্যাক্টিভেশন প্রয়োজন)

কাটিং এবং গঠন সরঞ্জাম:ড্রিল, এন্ড মিল এবং স্ট্যাম্পিং-এর উপর TiN, TiAlN এবং AlCrN আবরণ (হার্ডনেস: 2500 - 3200 HV)।

মোটরগাড়ি উপাদান:কম-ঘর্ষণ, পিস্টন রিং এবং ফুয়েল ইনজেকশন পিনের উপর-প্রতিরোধী আবরণ।

আলংকারিক হার্ডওয়্যার:ভোক্তা হার্ডওয়্যারের জন্য কার্যকরী ধাতব ফিনিশ (সোনা, গোলাপ সোনা, গানমেটাল কালো)।

বায়োমেডিকাল ইমপ্লান্ট:সার্জিক্যাল এবং ডেন্টাল ডিভাইসে জৈব-সঙ্গতিপূর্ণ হার্ড আবরণ (ISO 10993 সামঞ্জস্যপূর্ণ প্রোফাইল)।

চেম্বার স্কেল:আয়তক্ষেত্রাকার বা নলাকার চেম্বারগুলি উচ্চ-আয়তনের ব্যাচগুলির জন্য।

হাইব্রিড কনফিগারেশন:ভারসাম্যহীন ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং (UBMS) এর সাথে ক্যাথোডিক আর্ক সোর্সকে যুক্ত করা দ্বৈত-প্রযুক্তি একীকরণ।

পক্ষপাত মোড:অন্তরক বা সেমিকন্ডাক্টর সাবস্ট্রেটের জন্য RF পক্ষপাত একীকরণ।

ডেটা ইন্টিগ্রেশন:MES সংযোগের জন্য OPC UA / Modbus TCP প্রোটোকল।

ISO 9001 কোয়ালিটি ম্যানেজমেন্ট স্ট্যান্ডার্ডের অধীনে সম্পাদিত:

হিলিয়াম লিক সনাক্তকরণ:সমস্ত ওয়েল্ডে ভর স্পেকট্রোমিটার টেস্টিং (সিস্টেম লিক রেট<= 1.0 x 10^-9 Pa*m^3/s, ISO 3529 compliant).

বৈদ্যুতিক নিরাপত্তা:CE/IEC 60204-1 অনুযায়ী নিরোধক প্রতিরোধ এবং গ্রাউন্ডিং ধারাবাহিকতা নিরীক্ষিত।

কার্যকরী বৈধতা:72-ঘন্টা একটানা যান্ত্রিক এবং বৈদ্যুতিক ড্রাই রান।

ফ্যাক্টরি অ্যাকসেপ্টেন্স টেস্টিং (FAT):ক্লায়েন্ট পরীক্ষার কুপনগুলিতে বেধের অভিন্নতা (+/- 5%) এবং আনুগত্য মেট্রিক্স যাচাই করে ট্রায়াল জমা।

সুবিধা পূর্ব-চেক করুন:Complete utility blueprint detailing cooling water (>= 5 m^3/h), পাওয়ার ক্ষমতা, এবং নিষ্কাশন ভেন্টিং।

-সাইট কমিশনিং-এ:ফিল্ড ইঞ্জিনিয়ারদের দ্বারা তত্ত্বাবধানে যান্ত্রিক বসানো, ইউটিলিটি হুকআপ এবং ভ্যাকুয়াম যোগ্যতা।

অপারেটর প্রশিক্ষণ:5-দিনের হ্যান্ডস-অন প্রোগ্রাম রুটিন অপারেশন, রক্ষণাবেক্ষণ, লক্ষ্য প্রতিস্থাপন, এবং PLC প্রোগ্রামিং কভার করে।

জীবনচক্র পরিষেবা:নিরাপদ VPN রিমোট ডায়াগনস্টিকস এবং 48-ঘন্টা গুরুত্বপূর্ণ খুচরা যন্ত্রাংশ প্রেরণ।