পণ্য ওভারভিউ
ইন্ডাস্ট্রিয়াল ক্যাথোডিক আর্ক ইভাপোরেশন সিস্টেম হল একটি প্রোডাকশন-গ্রেড ফিজিক্যাল ওয়াপার ডিপোজিশন (PVD) প্ল্যাটফর্ম যা পরিধান-প্রতিরোধী, ক্ষয়রোধী-প্রতিরোধী, এবং কম-ঘর্ষণ শক্ত আবরণ জমা করার জন্য তৈরি। কম-ভোল্টেজ, উচ্চ-বর্তমান বৈদ্যুতিক আর্ক ব্যবহার করে, কঠিন ক্যাথোড লক্ষ্যগুলি ক্যাথোড স্পটে তাত্ক্ষণিকভাবে বাষ্পীভূত এবং আয়নিত হয়, উচ্চ আয়নযুক্ত ধাতব প্লাজমা তৈরি করে।
ISO 9001 মান পরিচালন মান এবং CE সম্মতি নির্দেশাবলীর অধীনে ডিজাইন ও তৈরি করা হয়েছে, এই সিস্টেমটি টুল উত্পাদন, স্বয়ংচালিত উপাদান এবং শিল্প হার্ডওয়্যার সেক্টরে উচ্চ-থ্রুপুট লেপ অপারেশনের জন্য কনফিগার করা হয়েছে৷ স্ট্যান্ডার্ড কনফিগারেশনগুলি সুসংগত ফিল্ম স্টোইচিওমেট্রি এবং ঘন মাইক্রোস্ট্রাকচার বজায় রাখার জন্য স্বাধীন ম্যাগনেটিক-ফিল্ড স্টিয়ারিং, প্রোগ্রামেবল ডিসি/পালসড বায়াস পাওয়ার সাপ্লাই এবং স্বয়ংক্রিয় ভ্যাকুয়াম নিয়ন্ত্রণ সহ বহু-ক্যাথোড লেআউটকে একীভূত করে।
-
![আর্ক ইভাপোরেশন থিন ফিল্ম সিস্টেম]()
আর্ক ইভাপোরেশন থিন ফিল্ম সিস্টেমইন্ডাস্ট্রিয়াল ক্যাথোডিক আর্ক ইভাপোরেশন থিন ফিল্ম সিস্টেমটি ঘন, দৃঢ়ভাবে অনুগত ধাতব, খাদ, এবং সিরামিক যৌগিক আবরণের উচ্চ হারে জমার জন্য তৈরি করা হয়েছে। কঠিন ক্যাথোড লক্ষ্যবস্তুতে একটি কম-ভোল্টেজ,...আরো দেখুন -
![আর্ক ইভাপোরেশন পিভিডি ইকুইপমেন্ট]()
আর্ক ইভাপোরেশন পিভিডি ইকুইপমেন্টশিল্প ক্যাথোডিক আর্ক বাষ্পীভবন PVD সিস্টেম একটি ভ্যাকুয়াম পরিবেশে কঠিন ক্যাথোড লক্ষ্যগুলিকে বাষ্পীভূত করতে কম-ভোল্টেজ, উচ্চ-বর্তমান বৈদ্যুতিক আর্কগুলি ব্যবহার করে। এই প্রক্রিয়াটি 80% ছাড়িয়ে...আরো দেখুন -
![ভ্যাকুয়াম আর্ক থিন ফিল্ম সিস্টেম]()
ভ্যাকুয়াম আর্ক থিন ফিল্ম সিস্টেমইন্ডাস্ট্রিয়াল ভ্যাকুয়াম আর্ক থিন ফিল্ম সিস্টেম ঘন, অত্যন্ত অনুগত ধাতব, খাদ এবং সিরামিক পাতলা ফিল্ম জমা করতে ক্যাথোডিক আর্ক বাষ্পীভবন ব্যবহার করে। একটি উচ্চ-বর্তমান, নিম্ন-ভোল্টেজ চাপ কঠিন...আরো দেখুন -
![ক্যাথোডিক আর্ক পাতলা ফিল্ম সরঞ্জাম]()
ক্যাথোডিক আর্ক পাতলা ফিল্ম সরঞ্জামদৈহিক বাষ্প জমা (PVD) সিস্টেম স্থানীয়কৃত কম-ভোল্টেজ, উচ্চ-বর্তমান বৈদ্যুতিক আর্ক ব্যবহার করে কঠিন ক্যাথোড লক্ষ্যগুলিকে সম্পূর্ণ আয়নিত প্লাজমাতে বাষ্পীভূত করতে। উচ্চ আয়নকরণের হার (40%-80%) ঘন...আরো দেখুন -
![আর্ক ইভাপোরেশন ডিপোজিশন ইকুইপমেন্ট]()
আর্ক ইভাপোরেশন ডিপোজিশন ইকুইপমেন্টইন্ডাস্ট্রিয়াল ফিজিক্যাল ওয়াপার ডিপোজিশন (PVD) প্লাটফর্মটি ঘন, পরিধান-প্রতিরোধী, এবং কার্যকরী শক্ত আবরণের উচ্চ-হারের সংশ্লেষণের জন্য প্রকৌশলী। কঠিন লক্ষ্য পৃষ্ঠে একটি উচ্চ-বর্তমান, কম-ভোল্টেজ...আরো দেখুন -
![আর্ক ইভাপোরেশন থিন ফিল্ম ইকুইপমেন্ট]()
আর্ক ইভাপোরেশন থিন ফিল্ম ইকুইপমেন্টএই ক্যাথোডিক আর্ক বাষ্পীভবন ব্যবস্থা সম্পূর্ণ আয়নিত ধাতব প্লাজমা তৈরি করতে কম-ভোল্টেজ, উচ্চ-বর্তমান বৈদ্যুতিক চাপের মাধ্যমে কঠিন ক্যাথোড লক্ষ্যগুলিকে বাষ্পীভূত করে। স্ট্যান্ডার্ড তাপীয় বাষ্পীভবন...আরো দেখুন
প্রযুক্তিগত বিশেষ উল্লেখ
|
প্যারামিটার |
স্পেসিফিকেশন রেঞ্জ / স্ট্যান্ডার্ড কনফিগারেশন |
|
চেম্বারের মাত্রা |
ব্যাস: 800 মিমি - 1800 মিমি (কাস্টমাইজযোগ্য উল্লম্ব/অনুভূমিক লেআউট) |
|
চেম্বার উপাদান |
অভ্যন্তরীণ জল-কুলিং চ্যানেল সহ ডবল-প্রাচীরযুক্ত SUS304 স্টেইনলেস স্টিল |
|
চূড়ান্ত ভ্যাকুয়াম চাপ |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Achieved via roots blower and molecular/oil diffusion pump groups) |
|
ক্যাথোড কনফিগারেশন |
ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক স্টিয়ারিং সহ 4 থেকে 12 আয়তক্ষেত্রাকার/বৃত্তাকার চাপ উত্স |
|
আর্ক পাওয়ার সাপ্লাই |
300A - 500একটি সামঞ্জস্যযোগ্য ধ্রুবক প্রবাহ, লহর<= 2% |
|
সাবস্ট্রেট বায়াস পাওয়ার |
0 থেকে -1000V সামঞ্জস্যযোগ্য, স্পন্দিত বায়াস ফ্রিকোয়েন্সি 10 kHz - 100 kHz |
|
হিটিং সিস্টেম |
রেডিয়েন্ট হিটার অ্যারে, সর্বোচ্চ তাপমাত্রা 600 ডিগ্রি +/- 5 ডিগ্রি অভিন্নতা |
|
ওয়ার্কপিস ঘূর্ণন |
চৌম্বকীয় তরল ফিডথ্রু দ্বারা চালিত গ্রহ বা দ্বৈত-অক্ষের ঘূর্ণন |
|
কন্ট্রোল সিস্টেম |
পিএলসি + ইন্ডাস্ট্রিয়াল পিসি, রেসিপি-চালিত স্বয়ংক্রিয় ক্রম নিয়ন্ত্রণ |
|
ইউটিলিটি প্রয়োজনীয়তা |
শীতল জল: 0.25-0.35 MPa, 20-25 ডিগ্রি; পাওয়ার: 380V/480V, 3-ফেজ, 50/60 Hz |
আর্ক বাষ্পীভবন প্রক্রিয়া
ফিল্ম অখণ্ডতা এবং ইন্টারফেস আনুগত্য নিশ্চিত করতে ডিপোজিশন চক্র কঠোর পদ্ধতিগত নিয়ন্ত্রণের অধীনে কাজ করে:
ইভাকুয়েশন এবং আউটগ্যাসিং:
ভ্যাকুয়াম চেম্বারটি বেস চাপে পাম্প করা হয়। পৃষ্ঠের উদ্বায়ী এবং অবশিষ্ট আর্দ্রতা দূর করার জন্য উপস্তরগুলি ভ্যাকুয়ামের নীচে উত্তপ্ত করা হয়।
01
প্লাজমা এচিং (পরিষ্কার):
ধাতব আয়ন বোমাবর্ষণ (টাইটানিয়াম বা ক্রোমিয়াম লক্ষ্য উত্স ব্যবহার করে) একটি পারমাণবিক স্তরে স্তর পৃষ্ঠ পরিষ্কার করে, নেটিভ অক্সাইড অপসারণ করে এবং ইন্টারফেস সক্রিয় করে।
02
প্রতিক্রিয়াশীল জমা:
প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসগুলি (N2, CH4, O2) ধাতুর প্লাজমা ফ্লাক্সের (যেমন, Ti, Cr, AlTi) সাথে প্রতিক্রিয়া করার জন্য ভর প্রবাহ নিয়ন্ত্রকের (MFCs) মাধ্যমে চেম্বারে প্রবেশ করানো হয়, যা TiN, TiAlN, বা CrN এর মতো যৌগিক ফিল্ম তৈরি করে।
03
ঠাণ্ডা করা এবং ভেন্টিং:
চেম্বার ভেন্টিং এবং অংশ পুনরুদ্ধারের আগে প্রতিরক্ষামূলক নিষ্ক্রিয় গ্যাস বায়ুমণ্ডলের অধীনে ডিপোজিশন কুলিং ঘটে।
04
সমর্থিত ক্যাথোড টার্গেট
টাইটানিয়াম (টিআই) এবং টাইটানিয়াম অ্যালুমিনিয়াম (টিআইএল):স্ট্যান্ডার্ড টিআইএন এবং উচ্চ-অক্সিডেশন-প্রতিরোধী টিআইএলএন আবরণের জন্য ভিত্তি উপাদান (900 ডিগ্রি পর্যন্ত জারণ সহ)।
ক্রোমিয়াম (Cr):আলংকারিক সমাপ্তি এবং জারা-প্রতিরোধী CrN/CrC স্তরগুলির জন্য ব্যবহৃত হয়।
জিরকোনিয়াম (Zr) এবং টাইটানিয়াম সিলিকন (TiSi):বিশেষ আলংকারিক এবং চরম পরিধান-প্রতিরোধী ন্যানোকম্পোজিট ফিল্মের জন্য প্রয়োগ করা হয়।
সামঞ্জস্যপূর্ণ স্তর উপকরণ
হাই-স্পিড স্টিল (HSS):টুইস্ট ড্রিল, এন্ড মিল, হবস এবং ব্রোচ।
সিমেন্টেড কার্বাইড (WC-Co):ইনডেক্সেবল সন্নিবেশ, reamers, এবং গঠন ডাই.
ইঞ্জিনিয়ারিং ইস্পাত এবং সংকর:স্বয়ংচালিত ভালভ উপাদান, গিয়ার, স্টেইনলেস স্টীল স্যানিটারি হার্ডওয়্যার, এবং টাইটানিয়াম মেডিকেল ইমপ্লান্ট।
অ্যাপ্লিকেশন এবং কর্মক্ষমতা প্রভাব
ধাতু কাটার সরঞ্জাম:
কার্বাইড সন্নিবেশ এবং শেষ মিলগুলিতে TiAlN এবং AlCrN আবরণ জমা করা, টুলের জীবনকাল 200% থেকে 300% বৃদ্ধি করে এবং শুষ্ক উচ্চ গতির মেশিনিং সক্ষম করে৷
গঠন এবং স্ট্যাম্পিং মারা যায়:
ঘন, কম-ঘর্ষণ আবরণের প্রয়োগ যাতে আঠালো পরিধান, গ্যালিং, এবং গভীর অঙ্কনের সময় ওয়ার্কপিস আটকে যাওয়া, ডাউনটাইম 40% পর্যন্ত কমিয়ে দেয়।
অটোমোটিভ পাওয়ারট্রেন:
পিস্টনের রিং, ফুয়েল ইনজেকশন পিন এবং টেপেটের চিকিৎসা যাতে সীমানা ঘর্ষণ গুণাঙ্ক কমিয়ে <0.15 পর্যন্ত কমানো যায় এবং ঘষামাজা রোধ করা যায়।
শিল্প হার্ডওয়্যার এবং স্যানিটারি কল:
কঠিন আলংকারিক PVD স্তরগুলি (TiN গোল্ড, গোলাপ সোনা, কালো জিরকোনিয়াম) ন্যূনতম 500-ঘন্টা নিরপেক্ষ লবণ স্প্রে পরীক্ষা (ASTM B117) পাস করে।
কাস্টমাইজেশন এবং প্রক্রিয়া কনফিগারেশন
উত্পাদন ভলিউম, অংশ জ্যামিতি, এবং কারখানার পদচিহ্ন অনুযায়ী সরঞ্জাম লেআউট স্কেল:
চেম্বার জ্যামিতি:
ভারী সরঞ্জামের জন্য উল্লম্ব লোডিং কাঠামো; উচ্চ-ক্ষমতা ফিক্সচার লোড করার জন্য অনুভূমিক ব্যাচ কনফিগারেশন।
উত্স একীকরণ:
মসৃণ, ড্রপলেট{{0}মুক্ত মাল্টিলেয়ার আর্কিটেকচারগুলি জমা করার জন্য ভারসাম্যহীন ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং (RMS) ক্যাথোডের সাথে ক্যাথোডিক আর্ক উত্সগুলিকে একত্রিত করে হাইব্রিড কনফিগারেশন৷
পরিস্রাবণ সিস্টেম:
অপটিক্যাল বা আল্ট্রা-মসৃণ নির্ভুল কার্যকরী আবরণের জন্য ম্যাক্রো-ড্রপলেটগুলি দূর করতে ক্যাথোড চ্যানেলগুলিতে ঐচ্ছিক চৌম্বকীয় ম্যাক্রো পার্টিকেল ফিল্টার (স্টিয়ারড আর্ক ফিল্টার) ইনস্টল করা হয়।
অটোমেশন ইন্টারফেস:
ইন্টিগ্রেশন-রোবোটিক লোডিং অস্ত্র এবং স্বয়ংক্রিয় নির্দেশিত যানবাহন (AGV) ব্যাচ স্টেজিংয়ের জন্য প্রস্তুত।
কাঠামোগত অখণ্ডতা:চেম্বার সংস্থাগুলি একটি সংবেদনশীলতা থ্রেশহোল্ডে হিলিয়াম ভর স্পেকট্রোমিটার লিক পরীক্ষার মধ্য দিয়ে যায়<= 1 x 10^-9 Pa*m3/s prior to assembly.
বৈদ্যুতিক নিরাপত্তা এবং সম্মতি:CE এবং IEC বৈদ্যুতিক নিরাপত্তা নির্দেশিকা কঠোরভাবে নির্মিত, সম্পূর্ণ নিরোধক পরীক্ষা এবং জরুরী নিরাপত্তা ইন্টারলক সমন্বিত।
কার্যকরী রান-বন্ধ (FAT):Each system undergoes a 72-hour continuous dry-run test and a full-process thermal deposition test in our factory. Coating thickness uniformity (+/- 5%) and adhesion (Scratch Tester critical load Lc >= 40 N / Rockwell indentation HF1-HF2) শিপমেন্টের আগে স্ট্যান্ডার্ড টেস্ট কুপনে যাচাই করা হয়।
ইনস্টলেশন এবং প্রযুক্তিগত সহায়তা
সাইট প্রস্তুতি প্যাকেজ:
শীতল জলের প্রবাহের হার, নিষ্কাশন বায়ুচলাচল, মেঝে লোড ক্ষমতা এবং বৈদ্যুতিক ড্রপ স্পেসিফিকেশনের বিস্তারিত বিস্তৃত ইউটিলিটি লেআউট অঙ্কনগুলি 4 সপ্তাহের চুক্তির পরে প্রদত্ত-।
-সাইট কমিশনিং-এ:
কারখানার-প্রত্যয়িত প্রক্রিয়া প্রকৌশলীরা ক্লায়েন্ট সুবিধায় যান্ত্রিক প্রান্তিককরণ, ভ্যাকুয়াম লিক সনাক্তকরণ, বৈদ্যুতিক একীকরণ এবং প্রাথমিক বেসলাইন রেসিপি সেটআপ পরিচালনা করে।
প্রক্রিয়া রেসিপি স্থানান্তর:
ডেলিভারিতে স্ট্যান্ডার্ড বেসলাইন রেসিপি (TiN, TiAlN, CrN) এবং অভ্যন্তরীণ রক্ষণাবেক্ষণ এবং প্রকৌশল দলের জন্য অপারেশনাল প্রশিক্ষণ অন্তর্ভুক্ত রয়েছে।
দূরবর্তী ডায়াগনস্টিক সমর্থন:
দূরবর্তী প্যারামিটার সমস্যা সমাধান এবং পিএলসি লজিক ডায়াগনস্টিকসের জন্য সুরক্ষিত শিল্প রাউটার গেটওয়ে দিয়ে সজ্জিত সিস্টেম।
FAQ
আমরা-চীনের শীর্ষস্থানীয় আর্ক বাষ্পীভবন পাতলা ফিল্ম সরঞ্জাম প্রস্তুতকারক এবং সরবরাহকারী হিসাবে পরিচিত। আপনি যদি চীনে তৈরি কাস্টমাইজড আর্ক বাষ্পীভবন পাতলা ফিল্ম সরঞ্জাম কিনতে যাচ্ছেন, আমাদের কারখানা থেকে মূল্য তালিকা পেতে স্বাগত জানাই। মূল্য পরামর্শের জন্য, আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন.
