পণ্য ওভারভিউ
IAE-সিরিজ আয়ন-অ্যাসিস্টেড ইভাপোরেশন থিন ফিল্ম ইকুইপমেন্ট বাস্তব-টাইম আয়ন রশ্মি বোমাবাজির সাথে শারীরিক বাষ্প জমা (PVD) একীভূত করে। থার্মাল বা ইলেক্ট্রন-রশ্মি বাষ্পীভবনের সময় সাবস্ট্রেটে শক্তিযুক্ত আয়নগুলিকে নির্দেশ করে, সিস্টেমটি ক্রমবর্ধমান ফিল্মের মাইক্রোস্ট্রাকচারের পুনর্গঠন করে ঘনীভূত অ্যাডটমগুলিতে গতি স্থানান্তর করে।
এই গতিশক্তি স্থানান্তর কলামার শূন্যতা দূর করে, আর্দ্রতা শোষণকে দমন করে এবং পরিবেষ্টিত আর্দ্রতার পরিবর্তনের বিরুদ্ধে প্রতিসরাঙ্ক সূচককে লক করে। অপটিক্যাল এবং সেমিকন্ডাক্টর প্রোডাকশন লাইনে ক্রমাগত মাল্টি-শিফ্ট অপারেশনের জন্য নির্মিত, প্ল্যাটফর্মটি উচ্চ-নির্ভুল লেজার অপটিক্স থেকে সিলিকন ওয়েফার পর্যন্ত সাবস্ট্রেট পরিচালনা করে।
-
![আয়ন-সহায়ক ভ্যাকুয়াম ইভাপোরেশন ইকুইপমেন্ট]()
আয়ন-সহায়ক ভ্যাকুয়াম ইভাপোরেশন ইকুইপমেন্টআয়ন-অ্যাসিস্টেড ভ্যাকুয়াম ইভাপোরেশন সিস্টেম উচ্চ-ভ্যাকুয়াম থার্মাল বা ইলেকট্রন-রশ্মি বাষ্পীভবন উত্সগুলিকে একটি কফম্যান-টাইপ বা এন্ড-হল আয়ন উত্সের সাথে একত্রিত করে। ভৌত বাষ্প জমা (PVD) এর সময়...আরো দেখুন -
![আয়ন-সহায়ক পাতলা ফিল্ম ডিপোজিশন সিস্টেম]()
আয়ন-সহায়ক পাতলা ফিল্ম ডিপোজিশন সিস্টেমআয়ন-অ্যাসিস্টেড থিন ফিল্ম ডিপোজিশন সিস্টেম বহু-পকেট ইলেকট্রন-বিম/তাপীয় বাষ্পীভবনকে একটি উচ্চ-পারফরম্যান্স এন্ড-হল বা কাউফম্যান-প্রকার আয়ন উৎসের সাথে একীভূত করে। ভৌত বাষ্প জমার সময় (PVD),...আরো দেখুন -
![আয়ন রশ্মি সহায়তাকারী বাষ্পীভবন সরঞ্জাম]()
আয়ন রশ্মি সহায়তাকারী বাষ্পীভবন সরঞ্জামIBAE সিস্টেম ইলেক্ট্রন-বিম বা তাপীয় বাষ্পীভবনকে একটি সমন্বিত বিস্তৃত-বিম আয়ন উৎসের সাথে একত্রিত করে। ফিল্ম বৃদ্ধির সময় যুগপত আয়ন বোমাবর্ষণ গতিশক্তিকে ঘনীভূত অ্যাডটমগুলিতে স্থানান্তরিত করে,...আরো দেখুন -
![আয়ন-সহায়ক পাতলা ফিল্ম জমার সরঞ্জাম]()
আয়ন-সহায়ক পাতলা ফিল্ম জমার সরঞ্জামIA-সিরিজ আয়ন-সহায়তাযুক্ত পাতলা ফিল্ম ডিপোজিশন ইকুইপমেন্ট ইলেক্ট্রন-বিম তাপীয় বাষ্পীভবনকে একটি কফম্যান বা এন্ড-হল আয়ন উত্সের সাথে একীভূত করে। ডিপোজিশনের সময় এনার্জিটিক আয়ন বোমাবাজি...আরো দেখুন -
![আয়ন-সহায়ক বাষ্পীভবন পাতলা ফিল্ম সিস্টেম]()
আয়ন-সহায়ক বাষ্পীভবন পাতলা ফিল্ম সিস্টেমআয়ন-অ্যাসিস্টেড ইভাপোরেশন (IAE) থিন ফিল্ম সিস্টেম শক্তিশালী আয়ন বিম বোমাবর্ষণের সাথে শারীরিক বাষ্প জমা (PVD) একীভূত করে। তাপ বা ইলেক্ট্রন-রশ্মি বাষ্পীভবনের সময়, একটি অক্জিলিয়ারী কাউফম্যান বা...আরো দেখুন -
![আয়ন-সহায়ক বাষ্পীভবন পাতলা ফিল্ম সরঞ্জাম]()
আয়ন-সহায়ক বাষ্পীভবন পাতলা ফিল্ম সরঞ্জামইন্ডাস্ট্রিয়াল-গ্রেড আয়ন-অ্যাসিস্টেড ইভাপোরেশন (IAE) সিস্টেম বহু-পকেট ইলেক্ট্রন-বীম বাষ্পীভবনকে একটি শক্তিশালী আয়ন রশ্মির উত্সের সাথে একীভূত করে (শেষ-হল বা কাউফম্যান কনফিগারেশন)। বাস্তব-সময়...আরো দেখুন
প্রযুক্তিগত বিশেষ উল্লেখ
|
প্যারামিটার |
স্পেসিফিকেশন |
|
চূড়ান্ত বেস চাপ |
< 5.0 × 10⁻⁵ Pa (achieved within 45 mins via cryogenic/turbomolecular pumping) |
|
বাষ্পীভবন উত্স |
মাল্টি-পকেট ই-বিম বন্দুক (4 × 15cc থেকে 40cc) এবং প্রতিরোধী তাপীয় উত্স |
|
আয়ন উত্স প্রকার |
গ্রিডলেস এন্ড-হল / কাউফম্যান-টাইপ আয়ন উৎস (বীম ভোল্টেজ: 50 – 1500 V, আয়ন কারেন্ট: 0.1 – 3 A) |
|
ফিল্ম বেধ নিয়ন্ত্রণ |
কোয়ার্টজ ক্রিস্টাল মাইক্রোব্যালেন্স (QCM) + অপটিক্যাল মনিটরিং সিস্টেম (OMS), নির্ভুলতা ± 0.1 এনএম |
|
সাবস্ট্রেট ফিক্সচারিং |
গ্রহের ঘূর্ণন ফিক্সচার, গম্বুজ ব্যাসার্ধ সাবস্ট্রেট জ্যামিতিতে কাস্টমাইজ করা হয়েছে |
|
সাবস্ট্রেট হিটিং |
রেডিয়েন্ট হিটার অ্যারে, ± 2 ডিগ্রি পিআইডি অভিন্নতার সাথে 350 ডিগ্রি পর্যন্ত |
|
কন্ট্রোল আর্কিটেকচার |
পিএলসি + ইন্ডাস্ট্রিয়াল পিসি, স্বয়ংক্রিয় রেসিপি এক্সিকিউশন, এসইসিএস/জিইএম কমপ্লায়েন্ট ডেটা লগিং |
আয়ন-সহায়ক জমার প্রক্রিয়া
বাষ্প উৎপাদন:
উপাদান ই-বিম ক্রুসিবল বা তাপীয় নৌকা থেকে নিয়ন্ত্রিত জমা হারে বাষ্পীভূত হয় (0.1 – 2.0 nm/s)।
01
মোমেন্টাম ট্রান্সফার:
এনার্জেটিক আয়ন (Ar⁺, O⁺) E- মরীচি বা তাপীয় উত্স থেকে আগত বাষ্প প্রবাহের সাথে সাথে সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠের উপর বোমাবর্ষণ করে।
02
মাইক্রোস্ট্রাকচার পরিবর্তন:
আয়ন প্রভাব অ্যাডাটম পৃষ্ঠের গতিশীলতা বাড়ায়, কলামার দানার বৃদ্ধি রোধ করে এবং কাছাকাছি-বাল্ক ঘনত্ব (প্যাকিং ঘনত্ব > 99%) অর্জন করে।
03
স্টোচিওমেট্রি সংশোধন:
প্রতিক্রিয়াশীল আয়ন সহায়তা (O₂) ধাতব অক্সাইড ফিল্মে সাব-অক্সাইডের সম্পূর্ণ অক্সিডেশন নিশ্চিত করে (যেমন, Ta₂O₅, Nb₂O₅, SiO₂), UV-NIR বর্ণালীতে শোষণ ব্যান্ড নির্মূল করে।
04
চলচ্চিত্র সামগ্রী
অক্সাইড:
SiO₂, Ta₂O₅, TiO₂, Nb₂O₅, HfO₂ (অপটিক্যাল ফিল্টারের জন্য উচ্চ প্রতিসরাঙ্ক স্থিতিশীলতা)।
ফ্লোরাইড:
MgF₂, LaF₃ (ব্রডব্যান্ড এআর আবরণের জন্য নিম্ন প্রতিসরাঙ্ক সূচক স্তর)।
ধাতু:
Al, Ag, Au, Ti (আঠালো স্তর এবং ধাতব প্রতিফলক)।
অ্যাপ্লিকেশন
লেজার এবং স্পষ্টতা অপটিক্স:
ব্যান্ডপাস ফিল্টার, ডাইক্রোইক মিরর, এবং লেজারের প্রতিরক্ষামূলক আবরণগুলির জন্য উচ্চ লেজার-জনিত ক্ষতির থ্রেশহোল্ড (LIDT) এবং তাপীয় চাপের অধীনে শূন্য বর্ণালী স্থানান্তর প্রয়োজন।
LiDAR কভার গ্লাস:
টেকসই অ্যান্টি-রিফ্লেক্টিভ (AR) এবং অ্যান্টি সয়েলিং পাতলা ফিল্মগুলি কঠোর বহিরঙ্গন আবহাওয়ার জন্য প্রতিরোধী।
সেমিকন্ডাক্টর প্যাকেজিং:
আর্দ্রতা-বাধা এনক্যাপসুলেশন স্তর এবং ধাতব যোগাযোগের প্যাডগুলি নিম্ন স্তরের তাপমাত্রায় জমা হয়।
বায়োমেডিকাল সেন্সর:
ডায়াগনস্টিক মাইক্রোফ্লুইডিক চিপসের জন্য বায়োকম্প্যাটিবল অপটিক্যাল ইন্টারফারেন্স লেপ।
কাস্টমাইজেশন
চেম্বার এবং অভ্যন্তরীণ লেআউটগুলি নির্দিষ্ট উত্পাদনের পদচিহ্ন এবং প্রক্রিয়ার প্রয়োজনীয়তার জন্য ইঞ্জিনিয়ার করা হয়:
চেম্বারের মাত্রা:
R=600 মিমি R&D ইউনিট থেকে R=1200 মিমি উচ্চ- ক্ষমতা উৎপাদন ব্যবস্থায় মাপযোগ্য।
পাম্পিং প্যাকেজ:
গ্যাস লোডের প্রয়োজনীয়তার উপর ভিত্তি করে ম্যাগলেভ টার্বোমলিকুলার পাম্প, ক্রায়োপাম্প এবং রুট ব্লোয়ার ব্যাকিং লাইনের সাথে কনফিগারযোগ্য।
উত্স একীকরণ:
দ্বৈত-আয়ন উৎস কনফিগারেশন বা কো-জটিল খাদ এবং মাল্টি-স্তর গ্রেডিয়েন্ট ফিল্মের জন্য ডিপোজিশন সেটআপ।
অটোমেশন স্তর:
স্বয়ংক্রিয় ক্লিনরুম সাবস্ট্রেট ট্রান্সফার সিস্টেমের সাথে ইন্টিগ্রেশন (EFEM / ভ্যাকুয়াম ক্লাস্টার টুল)।
মান নিয়ন্ত্রণ
লিক সনাক্তকরণ:
প্রতিটি ভ্যাকুয়াম চেম্বার হিলিয়াম লিক-একটি ভর স্পেকট্রোমিটার ব্যবহার করে পরীক্ষা করা হয় (লিকের হার <1.0 × 10⁻¹⁰ Pa·m³/s)।
কম্পোনেন্ট ট্রেসেবিলিটি:
ভ্যাকুয়াম ভালভ, ভর প্রবাহ নিয়ন্ত্রক (MFCs), এবং যোগ্য Tier-1 শিল্প ব্র্যান্ড (MKS, Inficon, VAT) থেকে পাওয়ার সাপ্লাই।
ফ্যাক্টরি অ্যাকসেপ্টেন্স টেস্টিং (FAT):
চালান করার আগে বেস চাপ, পাম্পিং কার্ভ, উৎস স্থায়িত্ব এবং 24-ঘন্টা একটানা খালি-চেম্বার সহনশীলতা যাচাই করে পরীক্ষা চালান।
মেট্রোলজি যাচাইকরণ:
নমুনা স্পেকট্রোফটোমিটার (ট্রান্সমিট্যান্স/প্রতিফলন) এবং পারমাণবিক বল মাইক্রোস্কোপি (সারফেস রুক্ষতা Ra <0.5 nm) এর মাধ্যমে যাচাই করা হয়।
ইনস্টলেশন এবং প্রযুক্তিগত সহায়তা
সাইট প্রস্তুতি নির্দেশিকা:
প্রসবের আগে সরবরাহ করা ব্যাপক ইউটিলিটি প্রয়োজনীয়তা (ঠান্ডা জলের প্রবাহ/চাপ, ক্লিনরুমের সংকুচিত বায়ু, বিদ্যুৎ বিতরণ, নিষ্কাশনের পথ)।
টার্নকি কমিশনিং:
ফিল্ড সার্ভিস ইঞ্জিনিয়াররা যান্ত্রিক সমাবেশ, ভ্যাকুয়াম বেক-আউট, আয়ন বিম ক্রমাঙ্কন, এবং প্রাথমিক প্রক্রিয়া রেসিপি সাইন-অফ-সাইট পরিচালনা করে।
অপারেটর প্রশিক্ষণ:
রুটিন রক্ষণাবেক্ষণ, ভ্যাকুয়াম নিরাপত্তা, সফ্টওয়্যার অপারেশন, এবং সমস্যা সমাধানের প্রশিক্ষণের জন্য কাঠামোবদ্ধ হাত-।
জীবনচক্র সমর্থন:
দ্রুত সফ্টওয়্যার সমস্যা সমাধানের জন্য দূরবর্তী ডায়গনিস্টিক ইন্টারফেস; সমালোচনামূলক পরিধান আইটেমগুলির আঞ্চলিক স্টক (ফিলামেন্ট, ক্রুসিবল, ঢাল) 48 ঘন্টার মধ্যে পাঠানো হয়।
FAQ
আমরা-চীনের অন্যতম প্রধান আয়ন-বাষ্পীভবন পাতলা ফিল্ম সরঞ্জাম প্রস্তুতকারক এবং সরবরাহকারী হিসেবে পরিচিত৷ আপনি যদি চীনে তৈরি কাস্টমাইজড আয়ন-সহায়তা বাষ্পীভবন পাতলা ফিল্ম সরঞ্জাম কিনতে যাচ্ছেন, আমাদের কারখানা থেকে মূল্য তালিকা পেতে স্বাগতম। মূল্য পরামর্শের জন্য, আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন.
