আয়ন-সহায়ক ভ্যাকুয়াম ইভাপোরেশন ইকুইপমেন্ট

আয়ন-অ্যাসিস্টেড ভ্যাকুয়াম ইভাপোরেশন সিস্টেম উচ্চ-ভ্যাকুয়াম থার্মাল বা ইলেকট্রন-রশ্মি বাষ্পীভবন উত্সগুলিকে একটি কফম্যান-টাইপ বা এন্ড-হল আয়ন উত্সের সাথে একত্রিত করে। ভৌত বাষ্প জমা (PVD) এর সময় আয়নিত গ্যাস (Ar বা O2) দিয়ে ক্রমবর্ধমান ফিল্মকে বোমাবর্ষণ করে, সিস্টেমটি গতিশক্তিকে অ্যাডাটমে স্থানান্তর করে, কলামার মাইক্রোস্ট্রাকচারকে দমন করে এবং অপটিক্যাল এবং ডাইলেকট্রিক পাতলা ফিল্মে আর্দ্রতা শোষণ প্রতিরোধ করে।

ক্লিনরুম ইন্টিগ্রেশন এবং ক্রমাগত মাল্টি-শিফ্ট উৎপাদনের জন্য নির্মিত, সিস্টেমটি R&D ফুটপ্রিন্ট (300 মিমি চেম্বার) থেকে উচ্চ-থ্রুপুট ইন্ডাস্ট্রিয়াল লাইন (900 মিমি ডুয়াল-ডোর এবং প্ল্যানেটারি রোটেশন কনফিগারেশন) পর্যন্ত স্কেল করে।

কাছাকাছি-বাল্ক ঘনত্ব:উন্নত অ্যাডাটম পৃষ্ঠের গতিশীলতা দৃশ্যমান ফিল্ম পোরোসিটি দূর করে এবং যান্ত্রিক কঠোরতা সর্বাধিক করে।

অভ্যন্তরীণ স্ট্রেস টিউনিং:সামঞ্জস্যযোগ্য আয়ন মরীচি শক্তি যান্ত্রিক চাপকে নিরপেক্ষ করে, পুরু অস্তরক স্ট্যাকের উপর ডিলামিনেশন প্রতিরোধ করে।

কম-থার্মাল-বাজেট প্রক্রিয়াকরণ:মোমেন্টাম-চালিত ঘনত্ব তাপীয় বিকৃতি ছাড়াই উচ্চ-তাপমাত্রার উপর পারফরম্যান্স আবরণ-সংবেদনশীল পলিমার সাবস্ট্রেটকে অনুমতি দেয়।

রেসিপি অটোমেশন:পিএলসি-নিয়ন্ত্রিত ভ্যাকুয়াম ইন্টারলক এবং পাম্প-ডাউন সিকোয়েন্সিং ডাটা লগিং সহ একটি ইন্ডাস্ট্রিয়াল টাচ-প্যানেল HMI এর মাধ্যমে পরিচালিত হয়।

রুক্ষ পর্যায়:দ্রুত ক্রসওভারের জন্য ডুয়াল-স্টেজ রোটারি ভ্যান মেকানিক্যাল পাম্পের সাথে রুট ব্লোয়ার (150 L/s গতি)।

উচ্চ ভ্যাকুয়াম পর্যায়:হাইড্রোকার্বন ব্যাকস্ট্রিমিং দূর করতে একটি তেল-মুক্ত শুকনো স্ক্রল পাম্প দ্বারা সমর্থিত চৌম্বকীয়ভাবে লেভিটেড টার্বোমলিকুলার পাম্প (1600 L/s)।

ক্রায়োজেনিক বিকল্প:কম জল{0}}বাষ্পের আংশিক চাপের জন্য তরল নাইট্রোজেন কোল্ড ট্র্যাপ এবং ক্রায়োপাম্প ইন্টিগ্রেশন।

ভ্যাকুয়াম পরিমাপ:বায়ুমণ্ডল থেকে 10^-7 Pa পর্যন্ত বাস্তব-সময় প্রতিক্রিয়ার জন্য ক্রস-ক্যালিব্রেটেড পিরানি এবং কোল্ড ক্যাথোড গেজ।

বাষ্পীভবন উপকরণ
অক্সাইড:SiO2, TiO2, Ta2O5, Nb2O5, Al2O3

ফ্লোরাইড:MgF2, LaF3

ধাতু:Al, Ag, Au, Ti, Cr

সাবস্ট্রেট সামঞ্জস্য
অপটিক্যাল সাবস্ট্রেটস:ফিউজড সিলিকা, N-BK7, সিলিকন, জার্মেনিয়াম, এবং জিঙ্ক সেলেনাইড উইন্ডোজ।

সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার:100 মিমি থেকে 300 মিমি সিলিকন এবং যৌগিক সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার।

পলিমার:PET, PI (Polyimide), এবং PMMA ফিল্ম কম{0}}তাপমাত্রা IAD প্যারামিটার ব্যবহার করে।

স্পষ্টতা অপটিক্স:অ্যান্টি-প্রতিফলিত (AR) আবরণ, লেজার মিরর, এবং সরু ব্যান্ডপাস ফিল্টার আর্দ্রতা প্রতিরোধের প্রয়োজন।

মাইক্রোইলেক্ট্রনিক্স:সেমিকন্ডাক্টর প্যাকেজিংয়ে মেটাল গেট ইলেক্ট্রোড, আনুগত্য স্তর এবং প্যাসিভেশন বাধা।

অপটোইলেক্ট্রনিক্স:স্বচ্ছ পরিবাহী অক্সাইড (TCO) পরিচিতি এবং OLED আর্দ্রতা{0}}বাধা ​​এনক্যাপসুলেশন স্তর।

চেম্বার জ্যামিতি:আয়তক্ষেত্রাকার বা নলাকার বিল্ডগুলি ক্লিনরুমের প্রাচীরের সীমাবদ্ধতার জন্য তৈরি।

একাধিক-উৎস ইন্টিগ্রেশন:তিনটি ই-বিম বন্দুক এবং চারটি থার্মাল বোট পর্যন্ত সমন্বিত কো-বাষ্পীভবন সেটআপ৷

সিটু মেট্রোলজি পোর্টে-:স্পেকট্রোস্কোপিক এলিপসোমিটার বা অপটিক্যাল মনিটরিং সিস্টেমের জন্য ফ্ল্যাঞ্জ ইন্টিগ্রেশন পোর্ট।

অটোমেশন স্তর:আধা-স্বয়ংক্রিয় গবেষণা তৈরি বা সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয় ক্যাসেট-থেকে-ক্যাসেট ওয়েফার হ্যান্ডলিং।

লিক সনাক্তকরণ:< 1 x 10^-9 Pa*m^3/s এর কঠোর প্রত্যাখ্যান থ্রেশহোল্ড সহ প্রতিটি চেম্বারে হিলিয়াম ভর স্পেকট্রোমিটার পরীক্ষা।

পরিচ্ছন্নতা যাচাই:অবশিষ্ট গ্যাস বিশ্লেষক (RGA) স্ক্যান শূন্য জৈব হাইড্রোকার্বন যাচাই করার জন্য চালানের আগে-সম্পাদিত হয়েছে।

সিস্টেম বার্ন-এ:যান্ত্রিক ড্রাইভ, কুলিং ম্যানিফোল্ড এবং বৈদ্যুতিক ইন্টারলকগুলির 72-ঘন্টা একটানা ড্রাই-রান পরীক্ষা।

ডকুমেন্টেশন:মেটেরিয়াল মিল টেস্ট সার্টিফিকেট (MTRs), বৈদ্যুতিক স্কিম্যাটিক্স, এবং ফ্যাক্টরি অ্যাকসেপ্টেন্স টেস্ট (FAT) রিপোর্ট।

সাইট প্রস্তুতি:Detailed facility guide covering floor loading, chilled water (>= 5 m^3/h), পরিষ্কার শুষ্ক বায়ু (CDA), এবং নিষ্কাশন।

কমিশনিং:যান্ত্রিক সমতলকরণ, ইউটিলিটি হুকআপ, ভ্যাকুয়াম ক্রমাঙ্কন, এবং রেসিপি সাইন-বন্ধের জন্য ফিল্ড পরিষেবা স্থাপনা৷

অপারেটর প্রশিক্ষণ:5-দিনের অন-সাইট প্রোগ্রাম কভার অপারেশন, প্রতিরোধমূলক রক্ষণাবেক্ষণ, সমস্যা সমাধান, এবং নিরাপত্তা ইন্টারলক।

খুচরা যন্ত্রাংশ:সমালোচনামূলক পরিধান আইটেম (ফিলামেন্ট, QCM ক্রিস্টাল, সীল, টার্বোমলিকুলার বিয়ারিং) আঞ্চলিকভাবে মজুদ করা।