PVD কম্পোজিট ভ্যাকুয়াম ডিপোজিশন ইকুইপমেন্ট

এই ইন্ডাস্ট্রিয়াল PVD কম্পোজিট ভ্যাকুয়াম ডিপোজিশন প্ল্যাটফর্মটি ইউনিফর্ম, মাল্টি-স্তর মেটালিক, অ্যালয়, বা ডাইলেকট্রিক পাতলা ফিল্ম জমা করার জন্য একাধিক ডিপোজিশন কৌশলকে একক চেম্বারের পরিবেশে একীভূত করে। স্ট্যান্ডার্ড আর্কিটেকচারগুলি 400 মিমি x 400 মিমি পর্যন্ত সাবস্ট্রেটের জন্য ব্যাচ প্রক্রিয়াকরণের ব্যবস্থা করে, রোল- থেকে- রোল বা 3D উপাদান পরিচালনার জন্য কাস্টম চেম্বার জ্যামিতি উপলব্ধ।

একাধিক-উৎস ইন্টিগ্রেশন:একটি একক পাম্প-ডাউন সাইকেলে তাপীয় বাষ্পীভবন এবং ম্যাগনেট্রন স্পুটারিংকে একত্রিত করে, ইন্টারফেস অক্সিডেশন প্রতিরোধ করে এবং পরিচালনার সময় হ্রাস করে।

বন্ধ-লুপ পুরুত্ব নিয়ন্ত্রণ:কোয়ার্টজ ক্রিস্টাল মাইক্রোব্যালেন্স (QCM) সেন্সর এবং অপটিক্যাল মনিটর সিস্টেমের সাথে সরাসরি ইন্টারফেস রিয়েল টাইমে জমার হার নিয়ন্ত্রণ করতে।

মডুলার চেম্বার আর্কিটেকচার:ফ্ল্যাঞ্জযুক্ত পোর্টগুলি মূল চেম্বারের বডিকে পুনরায় মেশিন না করে অতিরিক্ত বাষ্পীভবন উত্স বা আয়ন বন্দুকগুলির দ্রুত পুনরুদ্ধার করার অনুমতি দেয়।

সাবস্ট্রেট বায়াসিং ক্ষমতা:RF/DC পক্ষপাতিত্ব পাওয়ার সাপ্লাইগুলি জমা করার আগে আয়ন বোমাবাজি পরিষ্কার করে, কঠিন ধাতব এবং সিরামিক সাবস্ট্রেটে ফিল্ম আনুগত্য বাড়ায়।

স্বয়ংক্রিয় প্রক্রিয়া সিকোয়েন্সিং:PLC-নিয়ন্ত্রিত রেসিপি ব্যবস্থাপনা গেট ভালভ, ভর প্রবাহ নিয়ন্ত্রক (MFC), পাওয়ার র‌্যাম্পিং, এবং শাটার অ্যাকচুয়েশন পরিচালনা করে-অপারেটর প্ররোচিত ভিন্নতা দূর করতে।

ভ্যাকুয়াম সাবসিস্টেমটি চক্রের সময়কে ন্যূনতম করার জন্য এবং বিভিন্ন উৎসের উপকরণ থেকে আউটগ্যাসিং লোড পরিচালনা করার জন্য গঠন করা হয়েছে:

রুক্ষ এবং শিকড় পাম্প:শুকনো স্ক্রু পাম্প তেল ফেরত-স্ট্রিমিং ঝুঁকি দূর করে, ক্লিনরুম ISO ক্লাস 4 প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে।

উচ্চ-ভ্যাকুয়াম পাম্প: Combination of magnetically levitated turbo-molecular pumps (slot speed >= 1600 L/s) এবং উচ্চ জলের-বাষ্প পাম্পিং ক্ষমতার জন্য ঐচ্ছিক ক্রিওপাম্প।

চাপ পর্যবেক্ষণ:ডুয়াল-রেঞ্জ গেজ কনফিগারেশন (রাফ করার জন্য পিরানি গেজ; উচ্চ ভ্যাকুয়ামের জন্য আয়নাইজেশন/পেনিং গেজ) ফিলামেন্টের বায়ুমণ্ডলীয় দূষণ রোধ করতে সুরক্ষা ভালভের সাথে ইন্টারলক করা হয়।

লিক সনাক্তকরণ:ফ্যাক্টরি গ্রহণের আগে হিলিয়াম লিক- < 1.0 x 10^-9 Pa·m^3/s এর থ্রেশহোল্ডে চেক করা হয়েছে।

বাষ্পীভবন উপকরণ:
ধাতু:Al, Cu, Ti, Cr, Ni, Au, Ag, Pt.

খাদ:NiCr, TiAl, স্টেইনলেস স্টীল লক্ষ্য।

অস্তরক / অক্সাইড:SiO2, TiO2, Al2O3, ITO (প্রতিক্রিয়াশীল স্পটারিং বা ইলেক্ট্রন বিম ইন্টিগ্রেশনের মাধ্যমে)।

সাবস্ট্রেট সামঞ্জস্যতা:
সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার:সিলিকন, GaAs 300 মিমি পর্যন্ত।

অপটিক্যাল সাবস্ট্রেটস:অপটিক্যাল গ্লাস, কোয়ার্টজ এবং স্যাফায়ার লেন্স।

ইঞ্জিনিয়ারিং প্লাস্টিক:PI, PET, PC কম-তাপমাত্রার তাপ ব্যবস্থাপনার মাধ্যমে।

ধাতব স্তরসমূহ:ধাতব ফয়েল এবং স্ট্যাম্পযুক্ত ধাতব উপাদান।

অপটোইলেক্ট্রনিক্স:স্পর্শ প্যানেল এবং সেন্সর উইন্ডোগুলির জন্য স্বচ্ছ পরিবাহী অক্সাইড (ITO) এবং অ্যান্টি-প্রতিফলিত মাল্টি-স্তরের জমা।

পাওয়ার ইলেকট্রনিক্স:সিলিকন এবং চওড়া-ব্যান্ডগ্যাপ সেমিকন্ডাক্টর সাবস্ট্রেটে কম-প্রতিরোধের ওমিক পরিচিতি এবং বাধা স্তরের গঠন।

কার্যকরী আবরণ:ইন্ডাস্ট্রিয়াল ফাস্টেনার, মেডিক্যাল ইমপ্লান্ট এবং ভোক্তা হার্ডওয়্যারে প্রতিরোধী এবং আলংকারিক ধাতব আবরণ- পরিধান করুন।

সরঞ্জাম কনফিগারেশন নির্দিষ্ট উত্পাদন সীমাবদ্ধতা অভিযোজিত হয়:

চেম্বারের আকার নির্ধারণ:R&D বেঞ্চটপ ইউনিট (400mm কিউব) থেকে উচ্চ-ক্ষমতা উৎপাদন ব্যবস্থা (1200mm নলাকার/বক্স চেম্বার) পর্যন্ত স্কেল করা হয়েছে।

লোড-লক ইন্টিগ্রেশন:একক-ম্যানুয়াল লোডিং বা ডুয়াল-চেম্বার লোড-লক কনফিগারেশন একটানা লোডিং চক্রের সময় প্রধান ডিপোজিশন জোনে উচ্চ ভ্যাকুয়াম অখণ্ডতা বজায় রাখতে।

তাপ ব্যবস্থাপনা:জল-ঠান্ডা, উত্তপ্ত সাবস্ট্রেট স্টেজ (600 ডিগ্রি পর্যন্ত), বা ক্রায়োজেনিক সাবস্ট্রেট কুলিং টেবিল।

নিয়ন্ত্রণ ইন্টারফেস:SECS/GEM বা Modbus TCP প্রোটোকলের মাধ্যমে কারখানা SCADA বা MES নেটওয়ার্কগুলির সাথে একীকরণ।

চালানের আগে প্রতিটি ইউনিট কঠোর যাচাইয়ের মধ্য দিয়ে যায়:

ভ্যাকুয়াম ইন্টিগ্রিটি টেস্ট:48 ঘন্টা একটানা হিলিয়াম ভর স্পেকট্রোমিটার লিক সনাক্তকরণ অডিট।

বৈদ্যুতিক নিরাপত্তা পরীক্ষা:নিরোধক প্রতিরোধ, অস্তরক প্রতিরোধ, এবং গ্রাউন্ডিং ধারাবাহিকতা পরীক্ষা CE/UL নিরাপত্তা নির্দেশাবলীর সাথে সঙ্গতিপূর্ণ।

কার্যকরী ড্রাই রান:সমস্ত যান্ত্রিক শাটার, ভর প্রবাহ নিয়ন্ত্রক এবং পাওয়ার জেনারেটরের 72-ঘন্টা একটানা স্বয়ংক্রিয় সাইক্লিং।

প্রসেস অ্যাকসেপ্টেন্স রান:ফ্যাক্টরি অ্যাকসেপ্টেন্স টেস্ট (FAT) গ্রাহকের-নির্দিষ্ট লক্ষ্য উপকরণ ব্যবহার করে ডিপোজিশন রেট স্থায়িত্ব এবং বেধের অভিন্নতা যাচাই করার জন্য সম্পাদিত হয়।

ডকুমেন্টেশন প্যাকেজ:P&ID ডায়াগ্রাম, বৈদ্যুতিক স্কিম্যাটিক্স, PLC সোর্স লজিক আর্কিটেকচার, এবং ব্যবহারকারী রক্ষণাবেক্ষণ ম্যানুয়াল সহ সম্পূর্ণ প্রকৌশল সরবরাহযোগ্য।

-সাইট কমিশনিং-এ:ফিল্ড সার্ভিস ইঞ্জিনিয়াররা কারচুপি, ক্লিনরুম হুকআপ, ইউটিলিটি ভ্যালিডেশন (কুলিং ওয়াটার, সিডিএ, পাওয়ার), এবং সাইট অ্যাকসেপ্টেন্স টেস্টিং (SAT) তদারকি করেন।

অপারেটর প্রশিক্ষণ:প্রসেস ইঞ্জিনিয়ারদের জন্য রুটিন রক্ষণাবেক্ষণ, ভ্যাকুয়াম ট্রাবলশুটিং, এবং রেসিপি এডিটিং কভার করার প্রশিক্ষণের জন্য সুগঠিত হাত-।

খুচরা যন্ত্রাংশ উপলব্ধতা:গুরুতর উপাদান (সিল কিট, শিল্ডিং লাইনার, ফিলামেন্ট, QCM ক্রিস্টাল) সরাসরি প্রেরণের জন্য মজুদ করা হয়েছে।