EBE-V600 সিরিজ হল একটি ইন্ডাস্ট্রিয়াল-স্কেল ফিজিক্যাল ওয়াপার ডিপোজিশন (PVD) প্ল্যাটফর্ম যা অপটিক্যাল উপাদান, সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস এবং উন্নত উপকরণগুলির সুনির্দিষ্ট পাতলা-ফিল্ম আবরণের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। একটি উচ্চ-শক্তি, চৌম্বকীয়ভাবে ফোকাস করা ইলেক্ট্রন রশ্মিকে জলের ভিতরের উৎস সামগ্রীর উপর-শীতল ক্রুসিবলের দিকে নির্দেশ করে, চেম্বারের দেয়াল থেকে তাপীয় লোডগুলিকে বিচ্ছিন্ন রেখে সিস্টেমটি দ্রুত বাষ্পীভবন হার অর্জন করে।
আর্কিটেকচারে মাল্টি-পকেট ইলেক্ট্রন সোর্স এবং ডুয়াল কোয়ার্টজ ক্রিস্টাল মাইক্রোব্যালেন্স (QCM) সেন্সর রয়েছে, যাতে বহু-স্তর ডাইইলেকট্রিক বা ধাতব স্ট্যাক জুড়ে স্টোইচিওমেট্রিক ফিল্ম ফিডেলিটি এবং সামঞ্জস্যপূর্ণ বেধ নিয়ন্ত্রণ নিশ্চিত করা হয়।
প্রযুক্তিগত বিশেষ উল্লেখ
|
প্রযুক্তিগত পরামিতি |
স্পেসিফিকেশন মান |
|
চেম্বার জ্যামিতি এবং উপাদান |
Φ600 মিমি x 600 মিমি নলাকার পাত্র; SS304 বাহ্যিক কুলিং ওয়াটার জ্যাকেট সহ ইলেক্ট্রোপলিশড ইন্টেরিয়র |
|
চূড়ান্ত বেস চাপ |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (achieved via 12-hour bake-out and high-vacuum pumping) |
|
সাইকেল টাইম-পাম্প করুন |
<= 15 minutes (From atmosphere to 1.0 x 10^-3 Pa) |
|
ইলেক্ট্রন বন্দুক শক্তি |
270 ডিগ্রী বিম ডিফ্লেকশন সহ 6 কিলোওয়াট থেকে 12 কিলোওয়াট মাল্টি-পকেট কনফিগারেশন |
|
ক্রুসিবল হার্থ ক্ষমতা |
4 থেকে 6 পকেট (বিনিময়যোগ্য তামা/গ্রাফাইট ক্রুসিবল, প্রতি পকেটে 15cc থেকে 40cc ভলিউম) |
|
সাবস্ট্রেট পর্যায় ঘূর্ণন |
0 থেকে 30 RPM পরিবর্তনশীল গতি প্ল্যানেটারি বা সরাসরি ড্রাইভ |
|
সাবস্ট্রেট হিটিং রেঞ্জ |
পিআইডি বন্ধ-লুপ হ্যালোজেন ল্যাম্প অ্যারে হয়ে 600 ডিগ্রি পর্যন্ত পরিবেষ্টিত |
|
পুরুত্ব পর্যবেক্ষণ |
স্বয়ংক্রিয় শাটার প্রতিক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ সহ ডুয়াল QCM সেন্সর |
মূল বৈশিষ্ট্য
270 ডিগ্রী ম্যাগনেটিক ডিফ্লেকশন ই-গান:সরাসরি বাষ্প পথ থেকে টংস্টেন ফিলামেন্টকে বিচ্ছিন্ন করে, রক্ষণাবেক্ষণের ব্যবধানের মধ্যে সংক্ষিপ্ত-সার্কিটিং এবং অপারেশনাল লাইফকে প্রসারিত করে।
ডিজিটাল সুইপ কন্ট্রোল:প্রোগ্রামেবল রাস্টার প্যাটার্নগুলি বাষ্পীভবন পৃষ্ঠ জুড়ে সমানভাবে ইলেক্ট্রন শক্তি বিতরণ করে, খাদ জমার সময় পিনহোল গঠন এবং অগ্রাধিকারমূলক বাষ্পীভবন হ্রাস করে।
ডিকপলড ভ্যাকুয়াম আর্কিটেকচার:ফিল্ম বৃদ্ধির সময় যান্ত্রিক কম্পন স্থানান্তর দমন করার জন্য রুক্ষ এবং উচ্চ- ভ্যাকুয়াম পাম্পিং লাইনগুলি প্রধান চেম্বারের ফ্রেম থেকে কাঠামোগতভাবে বিচ্ছিন্ন করা হয়।
হার্ডওয়্যার ইন্টারলক সেফটি ম্যাট্রিক্স:শীতল জলের প্রবাহ, উচ্চ-ভোল্টেজ ফিডব্যাক, বায়ুসংক্রান্ত চাপ, এবং দরজার সিল অখণ্ডতার বাস্তব-সময়ের PLC পর্যবেক্ষণ।
ভ্যাকুয়াম সিস্টেম কনফিগারেশন
ভ্যাকুয়াম সাব-সার্কিটটি ক্রমবর্ধমান ছায়াছবিতে অবশিষ্ট গ্যাস সংযোজন (H2O, O2, N2) কমানোর জন্য দ্রুত সাইক্লিং এবং নিম্ন বেস চাপের জন্য ইঞ্জিনিয়ার করা হয়েছে:
উচ্চ-ভ্যাকুয়াম পাম্প:1200 L/s টার্বো-একটি ডুয়াল-স্টেজ রোটারি ভ্যান পাম্প দ্বারা সমর্থিত আণবিক পাম্প (বা ক্লিনরুম কমপ্লায়েন্সের জন্য ড্রাই স্ক্রোল পাম্প কনফিগারেশন)।
আলাদা থাকার ভালভ:লোড অপারেশনের সময় চেম্বারকে বিচ্ছিন্ন করে বায়ুসংক্রান্ত উচ্চ-পরিবাহী গেট ভালভ।
ভ্যাকুয়াম পরিমাপ:সম্মিলিত পিরানি এবং কোল্ড ক্যাথোড আয়নাইজেশন গেজ বায়ুমণ্ডল থেকে 10^-6 Pa পর্যন্ত অবিচ্ছিন্ন পরিসর কভার করে।
ফিল্ম উপাদান এবং উপস্তর
সামঞ্জস্যপূর্ণ বাষ্পীভবন উত্স
অক্সাইড এবং ডাইলেক্ট্রিকস:SiO2, TiO2, Ta2O5, Al2O3, HfO2
বিশুদ্ধ ধাতু:Au, Ag, Al, Ti, Cr, Pt, Ni
সেমিকন্ডাক্টর এবং কন্ডাক্টর:Si, Ge, ITO (ইন্ডিয়াম টিন অক্সাইড)
অ্যাপ্লিকেশন
অপটিক্যাল হস্তক্ষেপ ফিল্টার:সংকীর্ণ-ব্যান্ড পাস ফিল্টার এবং লেজার মিররগুলির জন্য উচ্চ-সূচক এবং নিম্ন-সূচক মাল্টি-স্তর স্ট্যাক জমা৷
সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস ফ্যাব্রিকেশন:ওহমিক যোগাযোগ গঠন, গেট অক্সাইড জমা, এবং ধাতব বীজ স্তর।
OLED এবং প্রদর্শন গবেষণা:পাতলা ধাতব ক্যাথোড জমা এবং বহু-স্তর জৈব/অজৈব প্যাসিভেশন পরীক্ষা।
হার্ড অবাধ্য আবরণ:যান্ত্রিক এবং মহাকাশ উপাদানগুলির জন্য প্রতিরক্ষামূলক পরিধান-প্রতিরোধী স্তর।
কাস্টমাইজেশন
চেম্বার সম্প্রসারণ:বর্ধিত জাহাজের উচ্চতা বা আয়তক্ষেত্রাকার জ্যামিতি ক্লাস্টার টুল ইন্টিগ্রেশনের জন্য তৈরি।
উত্স একীকরণ:একযোগে তাপীয় বাষ্পীভবন উত্স (প্রতিরোধী নৌকা) ইলেক্ট্রন বিম বন্দুকের সাথে মিলিত।
আয়ন-অ্যাসিস্টেড ডিপোজিশন (IAD):ফিল্ম ডেনসিফিকেশন এবং স্ট্রেস টিউনিংয়ের জন্য একটি প্রান্ত-হল বা কফম্যান আয়ন উৎসের ইন্টিগ্রেশন।
সফটওয়্যার আর্কিটেকচার:PLC/HMI রেসিপি প্রোগ্রামিং Siemens S7 বা Beckhoff অটোমেশন ফ্রেমওয়ার্কের সাথে সঙ্গতিপূর্ণ।
মান নিয়ন্ত্রণ
ভর স্পেকট্রোমিটার হিলিয়াম লিক পরীক্ষা:ইন্টিগ্রেশনের আগে প্রতিটি চেম্বার ওয়েল্ডমেন্ট < 1 x 10^-9 Pa·m3/s এর প্রত্যাখ্যান থ্রেশহোল্ডে পরীক্ষা করা হয়।
বৈদ্যুতিক সম্মতি:CE/UL নির্দেশিকা অনুযায়ী উচ্চ-ভোল্টেজ ডাইইলেকট্রিক প্রতিরোধের পরীক্ষা এবং গ্রাউন্ডিং ধারাবাহিকতা যাচাই।
ফ্যাক্টরি অ্যাকসেপ্টেন্স টেস্টিং (FAT):72-ঘন্টা একটানা শুষ্ক-চালান টেস্ট লগিং বেস প্রেসার কার্ভ, ই-বিম সুইপ রিপিটেবিলিটি, এবং ইন্টারলক রেসপন্স টাইম। পরীক্ষার ডকুমেন্টেশন ইউনিটের সাথে পাঠানো হয়েছে।
ইনস্টলেশন এবং প্রযুক্তিগত সহায়তা
সাইট কমিশনিং:কারখানার-প্রত্যয়িত প্রকৌশলীরা যান্ত্রিক সারিবদ্ধকরণ, ভ্যাকুয়াম লিক যাচাইকরণ, ইউটিলিটি সংযোগ তত্ত্বাবধান, এবং প্রাথমিক ক্রমাঙ্কন পরিচালনা করে।
কারিগরি প্রশিক্ষণ:২
নথিপত্র বিতরণযোগ্য:P&ID স্কিম্যাটিক্স, বৈদ্যুতিক তারের ডায়াগ্রাম, PLC ব্যাকআপ ফাইল এবং খুচরা যন্ত্রাংশ আইটেমাইজেশন সহ সম্পূর্ণ প্রযুক্তিগত বাইন্ডার।
প্রায়শই জিজ্ঞাসিত প্রশ্নাবলী
প্রশ্ন: ই-গানের টাংস্টেন ফিলামেন্টের কার্যক্ষম আয়ুষ্কাল কত, এবং এটি কীভাবে পরিচর্যা করা হয়?
উত্তর: আদর্শ কাজের চাপের অধীনে (<= 10^-4 Pa) and clean source materials, filament lifespan averages 30 to 50 operational hours. A quick-access vacuum flange allows cartridge exchange within 20 minutes without venting the entire manifold.
প্রশ্ন: অক্সাইড জমার সময় সিস্টেমটি কীভাবে থুতু আটকায়?
উত্তর: ডিজিটাল সুইপ জেনারেটর অক্সাইড পেলেটের একটি গণনাকৃত রাস্টার ম্যাট্রিক্স জুড়ে ইলেক্ট্রন শক্তি বিতরণ করে। এটি স্থানীয়কৃত অতিরিক্ত উত্তাপ দূর করে, বিস্ফোরক ফুটন্ত প্রতিরোধ করে এবং মাইক্রো-ড্রপলেট ইজেকশনকে দমন করে।
প্রশ্ন: ইনস্টলেশন সাইটে কোন ইউটিলিটি অবকাঠামো বাধ্যতামূলক?
A: Cooling Water: Supply pressure 0.25 MPa to 0.4 MPa, flow rate >= 30 লি/মিনিট, তাপমাত্রা 18 ডিগ্রী থেকে 25 ডিগ্রী।
বৈদ্যুতিক গ্রিড: 3-ফেজ, 380V ± 10%, 50/60 Hz (বা আঞ্চলিক মান অনুযায়ী ফ্যাক্টরি-কনফিগার করা হয়েছে)।
সংকুচিত বায়ু: বায়ুসংক্রান্ত ভালভ অ্যাকচুয়েটরগুলির জন্য 0.5 MPa থেকে 0.7 MPa শুষ্ক বায়ু।
প্রশ্ন: দূরবর্তী ডায়াগনস্টিক অ্যাক্সেস কি নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থায় একীভূত?
উঃ হ্যাঁ। একটি বিচ্ছিন্ন ইথারনেট পোর্ট আমাদের ইঞ্জিনিয়ারিং টিমের দ্বারা দূরবর্তী PLC লগ পুনরুদ্ধার এবং সফ্টওয়্যার সমস্যা সমাধানের জন্য নিরাপদ VPN সংযোগ সমর্থন করে।
গরম ট্যাগ: ইলেক্ট্রন মরীচি বাষ্পীভবন পাতলা ফিল্ম সরঞ্জাম, চীন ইলেক্ট্রন মরীচি বাষ্পীভবন পাতলা ফিল্ম সরঞ্জাম নির্মাতারা, সরবরাহকারী, কারখানা
